-
少子寿命：≥70us
-
电阻率：0.4-1.1Ω.cm
-
碳含量：≤0.5×1017atoms/cm3
-
氧含量：≤7.5×1017atoms/cm3
资料个性
| 项目 | 规格 | 检测步骤 |
|---|---|---|
| 成长方式 | CZ | / |
| 晶体晶向 | ＜100＞±3° | X射线衍射定向法 |
| 导电类型 | P型 | P/N型测试仪 |
| 位错密度/cm? | ≤500 | X射线衍射仪（ASTM F26-1987） |
| 项目 | 成长方式 | |
| 规格 | CZ | |
| 检测步骤 | / | |
| 项目 | 晶体晶向 | |
| 规格 | ＜100＞±3° | |
| 检测步骤 | X射线衍射定向法 | |
| 项目 | 导电类型 | |
| 规格 | P型 | |
| 检测步骤 | P/N型测试仪 | |
| 项目 | 位错密度/cm? | |
| 规格 | ≤500 | |
| 检测步骤 | X射线衍射仪（ASTM F26-1987） |
电机能
| 项目 | 规格 | 检测步骤 |
|---|---|---|
| 氧含量 | ≤7.5×1017atoms/cm3 | 嘎凤叶变换红表光谱仪 |
| 碳含量 | ≤0.5×1017atoms/cm3 | 嘎凤叶变换红表光谱仪 |
| 电阻率 | 0.4-1.1Ω.cm | 硅片自动检测设备 |
| 少子寿命 | ≥70us | Sinton BCT-400 QSSPC准稳态光电导衰减法 Transient瞬态光电导衰减法 (with injection level: 1E15 cm-3) |
| 项目 | 氧含量 | |
| 规格 | ≤7.5×1017atoms/cm3 | |
| 检测步骤 | 嘎凤叶变换红表光谱仪 | |
| 项目 | 碳含量 | |
| 规格 | ≤0.5×1017atoms/cm3 | |
| 检测步骤 | 嘎凤叶变换红表光谱仪 | |
| 项目 | 电阻率 | |
| 规格 | 0.4-1.1Ω.cm | |
| 检测步骤 | 硅片自动检测设备 | |
| 项目 | 少子寿命 | |
| 规格 | ≥70us | |
| 检测步骤 | Sinton BCT-400 QSSPC准稳态光电导衰减法 Transient瞬态光电导衰减法 (with injection level: 1E15 cm-3) |